Получение высококачественных покрытых металлом пироэлектрических пленок SrTiO$_3$

Представлена процедура изготовления покрытых металлом квазиаморфных пироэлектрических тонких пленок SrTiO$_3$. Пленки выращивались с использованием модифицированной установки магнетронного распыления “306 Edwards sputtering” при контролируемых тепловых условиях и стабилизированных с высокой точностью условиях вакуума и давления газов. Представлены результаты исследований трехслойных пленок (200 nm Металл–100 nm SrTiO$_3$–100 nm Металл). Пироэлектрическая природа электрического отклика на нагрев в этих пленках может быть непосредственно установлена в связи с тем, что металлические контакты, изготовленные из одинаковых материалов, не вносили искажений в измерения, исключая тем самым возможность влияния на результаты измерений контактной разницы потенциалов.