Сверхвысокочастотные свойства сегнетоэлектрических варикондов на основе пленок Ba$_x$Sr$_{1-x}$TiO$_3$ с Mg-содержащей добавкой

Представлены результаты исследований электрофизических характеристик объемных керамических образцов на основе сегнетоэлектрических твердых растворов Ba$_x$Sr$_{1-x}$TiO$_3$ с Mg-содержащей добавкой и планарных варикондов, изготовленных на основе сегнетоэлектрических пленок, полученных ионно-плазменным распылением мишеней различного компонентного состава. Исследованы зависимости управляемости $n(U)=C(0)/C(U)$ и тангенса диэлектрических потерь $(\operatorname{tg}\delta)$ сегнетоэлектрических варикондов от компонентного состава сегнетоэлектрика. Оценен фактор качества исследуемых варикондов и определен состав пленки, отвечающий наилучшим электрофизическим параметрам.