Фазовые превращения в пленках, осажденных лазерной абляцией Hf в атмосфере кислорода

Изучены структура и фазовые превращения при отжиге пленок диоксида гафния, полученных импульсным лазерным распылением мишени Hf в атмосфере кислорода. Исследования проведены с помощью методов просвечивающей электронной микроскопии и электронографии. Установлено формирование аморфной, тетрагональной, ромбической и моноклинной фаз HfO$_2$. Для тетрагональной модификации HfO$_2$ проявляется эффект эпитаксии на подложке (001) KCl. При отжиге аморфной пленки как в вакууме, так и в воздушной атмосфере происходит ее кристаллизация с образованием моноклинной модификации HfO$_2$. Воздействие на аморфную пленку электронного луча в вакууме сопровождается образованием ромбической и моноклинной модификаций HfO$_2$. При переходе от ромбической к моноклинной модификации HfO$_2$ имеет место фазовый размерный эффект. На заключительном этапе кристаллизации доминирующей составляющей является моноклинная модификация, представленная дендритными кристаллами HfO$_2$.