Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2012, том 82, выпуск 6, страницы 132–134 (Mi jtf8855)  
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Приборы и методы эксперимента

Измерение микроколичеств диоксида кремния на поверхности кремния с помощью сенсоров на основе перфторированных протонпроводящих мембран

С. Е. Никитинa, Е. И. Теруковa, С. В. Тимофеевb, Н. К. Манабаевc

a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Акционерное общество "Пластполимер", 195197 Санкт-Петербург, Россия
c Казахский национальный университет им. аль-Фараби, 480078 Алма-Ата, Казахстан
PDF полного текста (139 kB) Список цитирования (1)
Аннотация: Исследована методика измерения микроколичества диоксида кремния, находящегося на поверхности кремния. Методика основана на растворении тонких слоев SiO$_2$ в водных растворах фтористоводородной кислоты с последующим анализом полученных растворов с помощью сенсоров на основе перфторированных протонпроводящих мембран. Показана возможность количественного определения не менее 1 $\cdot$ 10$^{-6}$ mol диоксида кремния, находившегося на поверхности кремния.
Поступила в редакцию: 16.08.2011
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2012, Volume 57, Issue 6, Pages 865–867
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784212060199
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: С. Е. Никитин, Е. И. Теруков, С. В. Тимофеев, Н. К. Манабаев, “Измерение микроколичеств диоксида кремния на поверхности кремния с помощью сенсоров на основе перфторированных протонпроводящих мембран”, ЖТФ, 82:6 (2012), 132–134; Tech. Phys., 57:6 (2012), 865–867
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{NikTerTim12}
\by С.~Е.~Никитин, Е.~И.~Теруков, С.~В.~Тимофеев, Н.~К.~Манабаев
\paper Измерение микроколичеств диоксида кремния на поверхности кремния с помощью сенсоров на основе перфторированных протонпроводящих мембран
\jour ЖТФ
\yr 2012
\vol 82
\issue 6
\pages 132--134
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf8855}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=20325613}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2012
\vol 57
\issue 6
\pages 865--867
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784212060199}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf8855
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v82/i6/p132
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025