Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2012, том 82, выпуск 7, страницы 134–136 (Mi jtf8885)  
Эта публикация цитируется в 13 научных статьях (всего в 13 статьях)

Краткие сообщения

Магнетронный разряд в среде аргона и кислорода при осаждении пленки оксида титана

А. Е. Комлев, В. И. Шаповалов, Н. С. Шутова

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ», 197238 Санкт-Петербург, Россия
PDF полного текста (189 kB) Список цитирования (13)
Аннотация: Приведены результаты изучения разряда в плоском магнетроне с титановой мишенью. Установлено, что в среде аргона при постоянном токе увеличение давления от 2 до 6 mTorr приводит к увеличению возбуждения ионов аргона примерно на 20%. Возбуждение нейтральных атомов титана не зависит от давления аргона и определяется только током разряда. Вольт-амперная характеристика магнетрона в среде аргона и кислорода полностью отражает процессы, происходящие на мишени магнетрона.
Поступила в редакцию: 17.08.2011
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2012, Volume 57, Issue 7, Pages 1030–1033
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784212070122
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. Е. Комлев, В. И. Шаповалов, Н. С. Шутова, “Магнетронный разряд в среде аргона и кислорода при осаждении пленки оксида титана”, ЖТФ, 82:7 (2012), 134–136; Tech. Phys., 57:7 (2012), 1030–1033
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KomShaShu12}
\by А.~Е.~Комлев, В.~И.~Шаповалов, Н.~С.~Шутова
\paper Магнетронный разряд в среде аргона и кислорода при осаждении пленки оксида титана
\jour ЖТФ
\yr 2012
\vol 82
\issue 7
\pages 134--136
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf8885}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=20325643}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2012
\vol 57
\issue 7
\pages 1030--1033
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784212070122}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf8885
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v82/i7/p134
    • Эта публикация цитируется в следующих 13 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025