|
|
Журнал технической физики, 2012, том 82, выпуск 8, страницы 83–88
(Mi jtf8900)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)
Оптика, квантовая электроника
Ионно-плазменная обработка монокристаллов Cd$_{1-x}$Zn$_x$Te ($x\sim$0.04) и оптическое просветление алмазоподобными углеродными пленками
Н. И. Клюй, В. Б. Лозинский, А. Н. Лукьянов, В. А. Мороженко, Р. К. Савкина, Ф. Ф. Сизов, А. Б. Смирнов, В. А. Дериглазов Институт физики полупроводников им. В. Е. Лашкарева НАН Украины, 03028 Киев, Украина
Аннотация:
Изучено влияние ионно-плазменной обработки монокристаллов Cd$_{1-x}$Zn$_x$Te ($x\sim$0.04), которая проводилась перед нанесением просветляющего покрытия – алмазоподобной углеродной пленки $a$-C : H : N, на оптические свойства получаемой структуры. Обработка проводилась в плазме аргона, азота или водорода. Контроль оптических свойств системы $a$-C : H : N/Cd$_{1-x}$Zn$_x$Te показал, что наиболее эффективной, с точки зрения повышения пропускания структуры, является обработка в плазме аргона. Предложена модель оптической системы, учитывающая формирование переходных слоев после плазменной обработки и влияние типа ионов на их характеристики. Проведен анализ спектров поглощения системы $a$-C : H : N/Cd$_{1-x}$Zn$_x$Te, позволивший установить присутствие полос, соответствующих валентным и деформационным колебаниям C–H-связей, а также C–C- и C = O-связям, наличие которых необходимо учитывать при конструировании и синтезе изучаемых оптических покрытий.
Поступила в редакцию: 07.07.2011
Образец цитирования:
Н. И. Клюй, В. Б. Лозинский, А. Н. Лукьянов, В. А. Мороженко, Р. К. Савкина, Ф. Ф. Сизов, А. Б. Смирнов, В. А. Дериглазов, “Ионно-плазменная обработка монокристаллов Cd$_{1-x}$Zn$_x$Te ($x\sim$0.04) и оптическое просветление алмазоподобными углеродными пленками”, ЖТФ, 82:8 (2012), 83–88; Tech. Phys., 57:8 (2012), 1121–1126
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf8900 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v82/i8/p83
|
|