|
|
Журнал технической физики, 2012, том 82, выпуск 9, страницы 101–106
(Mi jtf8927)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
Приборы и методы эксперимента
Срезанные линейные зонные пластинки для жесткого рентгеновского излучения
И. А. Артюковa, В. А. Бурцевb, А. В. Виноградовa, А. Ю. Девизенкоc, Н. В. Калининb, И. А. Копылецc, В. В. Кондратенкоc, В. Е. Пухаc, Б. А. Савицкийc, Р. М. Фещенкоa a Физический институт им. П. Н. Лебедева Российской академии наук, 119991 Москва, Россия
b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
c Национальный технический университет "Харьковский политехнический институт", Харьков, Украина
Аннотация:
Рассмотрены линейные зонные пластинки для жесткого ($E>$ 10 keV) рентгеновского излучения на основе срезов многослойных покрытий W$_5$Si$_3$/Si, изготовленных методом магнетронного распыления. Из численных расчетов следует, что эта пара материалов обеспечивает высокую эффективность в первом и втором порядках дифракции. Экспериментально установлено, что возможен синтез многослойных структур высокого качества, содержащих сотни слоев на кремниевых и стеклянных подложках. Показано, что их срезы могут быть получены путем ионного травления многослойного покрытия через маску.
Поступила в редакцию: 12.12.2011
Образец цитирования:
И. А. Артюков, В. А. Бурцев, А. В. Виноградов, А. Ю. Девизенко, Н. В. Калинин, И. А. Копылец, В. В. Кондратенко, В. Е. Пуха, Б. А. Савицкий, Р. М. Фещенко, “Срезанные линейные зонные пластинки для жесткого рентгеновского излучения”, ЖТФ, 82:9 (2012), 101–106; Tech. Phys., 57:9 (2012), 1283–1288
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf8927 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v82/i9/p101
|
|