Энергетическое распределение ионов металлов и инертных газов, прошедших через монокристаллические пленки меди

Сравнительное исследование энергетического распределения ионов, прошедших через монокристаллические пленки меди, показало, что потери энергии каналированных и неканалированных ионов зависят не только от массы, но и от радиуса бомбардирующих ионов. Установлено, что энергетические спектры прошедших ионов очень чувствительны к изменению состава и структуры исследуемых пленок. Поэтому по изменению этих спектров можно оценить степень разупорядочения тонких пленок при различных воздействиях.