Магнетронное и импульсное лазерное напыление наночастиц и несплошных пленок Ag и Au и исследование их оптических свойств

Исследованы различные режимы получения наночастиц Ag и Au методами магнетронного и импульсного лазерного напыления и особенности спектров поглощения, связанные с плазмонными резонансами. Для получения наночастиц серебра малых размеров (5–10 nm) с большой плотностью поверхностного распределения определен оптимальный режим получения: повышенное давление аргона (2.5 $\cdot$ 10$^{-2}$ Torr) и малое напряжение разряда (100 V). Массивы наночастиц Au, полученные методом импульсного лазерного напыления, проявляют более высокую однородность при напылении на подложки при температуре 200$^\circ$C в вакууме, нежели при комнатной температуре в атмосфере аргона. Показано, что положение максимума плазмонного поглощения сдвигается в область меньших длин волн при снижении значения эквивалентной толщины пленок металлов и зависит не только от данного значения, но и от типа подложки, которая определяет морфологические характеристики массивов наночастиц.