|
|
Журнал технической физики, 2012, том 82, выпуск 12, страницы 72–78
(Mi jtf8996)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)
Оптика, квантовая электроника
Исследование структуры и параметров луча KrF-эксимерного лазера
Ю. М. Задирановa, С. Г. Калмыковa, М. Э. Сасинa, П. Ю. Сердобинцевb a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
b Санкт-Петербургский государственный университет, 199034 Санкт-Петербург, Россия
Аннотация:
Распределение энергии по сечению луча ультрафиолетового KrF-эксимерного лазера с конфокальным неустойчивым резонатором измерено по люминесценции ультрафиолетового излучения на стекле. Обнаружена сложная тонкая структура луча. Двумя разными методами - по почернению термобумаги и по абляционным кратерам на поверхности стекла – выполнены измерения вблизи фокуса; показано, что упомянутая сложная структура сохраняется также и в районе перетяжки каустической поверхности. Оценки размеров поперечного сечения в этом месте заметно зависят от примененных методов измерения значения угла расходимости исходного луча, определенные разными способами, варьируют от 0.3 до 0.6–1.3 mrad. При фокусировке с помощью специально сконструированного безаберрационного объектива удается получить фокальное пятно с линейными размерами в несколько десятков микрон.
Поступила в редакцию: 22.12.2011
Образец цитирования:
Ю. М. Задиранов, С. Г. Калмыков, М. Э. Сасин, П. Ю. Сердобинцев, “Исследование структуры и параметров луча KrF-эксимерного лазера”, ЖТФ, 82:12 (2012), 72–78; Tech. Phys., 57:12 (2012), 1681–1686
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf8996 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v82/i12/p72
|
|