Особенности сенсорного отклика термокаталитического сенсора с нагревателем из монокристаллического кремния

Проведено исследование особенностей сенсорного отклика термокаталитического газового сенсора с нагревателем из монокристаллического кремния $p$-типа проводимости к ряду газов, таких как H$_2$, CO, CH$_4$ и C$_3$H$_8$. Для пропана, монооксида углерода и водорода можно выделить как положительную, так и отрицательную составляющие сенсорного отклика. Для положительных значений отклика сенсора на монооксид углерода и пропан наблюдаются ярко выраженные максимумы при значениях тока кремниевого нагревателя 21 и 23 mA соответственно. Для водорода наблюдается зависимость положения максимума отклика сенсора от концентрации газа. Такая особенность сенсорного отклика на водород объясняется последовательным действием двух процессов: абсорбцией молекул H$_2$ на поверхности кремниевого нагревателя и каталитической реакцией окисления водорода на Pt–Pd-катализаторе. Для метана сенсорный отклик имеет лишь отрицательную составляющую.