|
|
Журнал технической физики, 2011, том 81, выпуск 2, страницы 108–112
(Mi jtf9054)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)
Твердотельная электроника
Напыление покрытий боридов, нитридов и силицидов с заданной морфологией и структурным совершенством
П. И. Игнатенко Донецкий национальный университет
83055 Донецк, Украина
Аннотация:
На основе данных рентгеновской дифрактометрии, электронной микроскопии и вторичной ионной масс-спектрометрии оценена роль относительного пересыщения, энергии упругой деформации нарастающей фазы и энергии адгезии на морфологию и ориентацию покрытий боридов, нитридов и силицидов. Представлена диаграмма, позволяющая качественно определять условия получения фаз с заданной морфологией и структурным совершенством.
Поступила в редакцию: 13.04.2010 Принята в печать: 29.06.2010
Образец цитирования:
П. И. Игнатенко, “Напыление покрытий боридов, нитридов и силицидов с заданной морфологией и структурным совершенством”, ЖТФ, 81:2 (2011), 108–112; Tech. Phys., 56:2 (2011), 264–268
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf9054 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v81/i2/p108
|
|