Моделирование газоразрядных источников ультрафиолетового излучения с тлеющим разрядом в смеси ксенона и хлора

На основе разработанной модели произведены расчеты концентрации эксимерных молекул – галогенидов инертных газов – в положительном столбе тлеющего разряда в смеси газов, содержащей хлор. Модель позволяет количественно воспроизвести наблюдавшиеся в эксперименте зависимости мощности эксимерного ультрафиолетового излучения от разрядного тока в широком диапазоне составов и давлений газовой смеси, обеспечить удовлетворительное количественное соответствие расчетных и измеренных в эксперименте радиальных распределений концентраций электронов и эксимерных молекул, а также дать физическое объяснение наблюдавшимся в эксперимент зависимостям. Для этого, в отличие от существующих моделей, необходимо учитывать и саму диссоциацию молекул хлора электронным ударом, и ее радиальную неоднородность, а также радиальную неоднородность температуры газа.