|
|
Журнал технической физики, 2011, том 81, выпуск 5, страницы 69–74
(Mi jtf9127)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 7 научных статьях (всего в 7 статьях)
Твердотельная электроника
Новые возможности количественного анализа в спектроскопии потерь энергии отраженных электронов структур Fe/Si
А. С. Паршинab, С. А. Кущенковa, Г. А. Александроваa, С. Г. Овчинниковb a Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева, 660014 Красноярск, Россия
b Институт физики им. Л. В. Киренского СО РАН, 660036 Красноярск, Россия
Аннотация:
На примере слоистых структур железа на кремниевых подложках показана возможность определения элементного состава, химического состояния и распределения элементов по толщине приповерхностной области из результатов компьютерного моделирования сечения неупругого рассеяния электронов в рамках диэлектрической теории и экспериментального определения произведения средней длины неупругого пробега на сечение неупругого рассеяния электронов по потерям энергии из спектров потерь энергии отраженных электронов.
Поступила в редакцию: 24.06.2010 Принята в печать: 13.10.2010
Образец цитирования:
А. С. Паршин, С. А. Кущенков, Г. А. Александрова, С. Г. Овчинников, “Новые возможности количественного анализа в спектроскопии потерь энергии отраженных электронов структур Fe/Si”, ЖТФ, 81:5 (2011), 69–74; Tech. Phys., 56:5 (2011), 656–661
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf9127 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v81/i5/p69
|
|