|
|
Журнал технической физики, 2011, том 81, выпуск 7, страницы 141–148
(Mi jtf9194)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Поверхность, электронная и ионная эмиссия
Компьютерное моделирование и анализ технических характеристик термомолекулярных микронасосов
Ю. Ю. Клоссab, Д. В. Мартыновab, Ф. Г. Черемисинac a Московский физико-технический институт,
147700 Долгопрудный, Московская область, Россия
b Российский научный центр "Курчатовский институт",
123182 Москва, Россия
c Вычислительный центр им. А. А. Дородницына РАН, 117967 Москва, Россия
Аннотация:
Исследованы термомолекулярные микронасосы, работающие без движущихся механических частей, различающиеся по форме, но имеющие в основе один и тот же физический эффект – тепловое скольжение газа вдоль неравномерно нагретых стенок. Показана применимость разработанных методов компьютерного моделирования и программных систем для анализа физических свойств различного типа микронасосов. В качестве критериев работы устройств выступают отношение давлений, создаваемое насосом в установившемся режиме, и геометрия конструкции насоса, необходимая для применения устройства в MEMS-системах. Функциональность насосов изучалась численно с помощью компьютерного моделирования кинетического уравнения Больцмана.
Поступила в редакцию: 09.09.2010
Образец цитирования:
Ю. Ю. Клосс, Д. В. Мартынов, Ф. Г. Черемисин, “Компьютерное моделирование и анализ технических характеристик термомолекулярных микронасосов”, ЖТФ, 81:7 (2011), 141–148; Tech. Phys., 56:7 (2011), 1040–1048
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf9194 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v81/i7/p141
|
|