Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2011, том 81, выпуск 9, страницы 113–118 (Mi jtf9241)  
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)

Поверхность, электронная и ионная эмиссия

Новая технология газогетерогенного синтеза наноструктурированных металлических слоев из малоразмерных летучих металлокомплексов

А. М. Бадалянa, Л. Ф. Бахтурова, В. В. Каичевb, О. В. Поляковa, О. П. Пчеляковc, Г. И. Смирновc

a Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН, г. Новосибирск
b Институт катализа им. Г. К. Борескова СО РАН, г. Новосибирск
c Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
PDF полного текста (731 kB) Список цитирования (2)
Аннотация: Предложена и экспериментально апробирована новая технология формирования тонких наноструктурированных слоев на полупроводниковых и диэлектрических подложках газогетерогенным синтезом из малоразмерных летучих комплексов металлов. Тонкие наноструктурированные слои меди на кремниевых и кварцевых подложках получены из малоразмерных летучих формиатных комплексов в условиях процесса совмещенного синтеза-переноса. Установлено, что медь в слоях, полученных этим методом, преимущественно находится в металлическом состоянии (Cu$^0$) в виде плотно упакованных наноразмерных гранул с характерной структурой.
Поступила в редакцию: 29.11.2010
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2011, Volume 56, Issue 9, Pages 1333–1338
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784211090039
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. М. Бадалян, Л. Ф. Бахтурова, В. В. Каичев, О. В. Поляков, О. П. Пчеляков, Г. И. Смирнов, “Новая технология газогетерогенного синтеза наноструктурированных металлических слоев из малоразмерных летучих металлокомплексов”, ЖТФ, 81:9 (2011), 113–118; Tech. Phys., 56:9 (2011), 1333–1338
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{BadBakKai11}
\by А.~М.~Бадалян, Л.~Ф.~Бахтурова, В.~В.~Каичев, О.~В.~Поляков, О.~П.~Пчеляков, Г.~И.~Смирнов
\paper Новая технология газогетерогенного синтеза наноструктурированных металлических слоев из малоразмерных летучих металлокомплексов
\jour ЖТФ
\yr 2011
\vol 81
\issue 9
\pages 113--118
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf9241}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=20325229}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2011
\vol 56
\issue 9
\pages 1333--1338
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784211090039}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf9241
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v81/i9/p113
    • Эта публикация цитируется в следующих 2 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025