Особенности формирования пленки Fe$_3$O$_4$ на поверхности Si(111), покрытой тонким слоем SiO$_2$

Используя различные способы окисления Fe на поверхности Si(111), покрытой тонким (1.5 nm) слоем SiO$_2$, были выращены поликристаллические пленки магнетита. Установлено влияние дефектов пленки SiO$_2$ на процесс силицидообразования при нагреве пленки Fe. Обнаружено, что окисление пленки Fe при высокой температуре приводит как к образованию Fe$_3$O$_4$, так и моносилицида железа. С другой стороны, осаждение Fe в атмосфере O$_2$ при высокой температуре приводит к росту на поверхности SiO$_2$ однородной по составу пленки Fe$_3$O$_4$. Обнаружено, что данный метод синтеза приводит к формированию в пленке магнетита [311]-текстуры, ось которой нормальна поверхности. Проведено исследование влияния метода формирования на магнитные свойства выращенных пленок Fe$_3$O$_4$. Высокое значение коэрцитивной силы пленок Fe$_3$O$_4$, сформированных путем окисления пленки Fe, обусловлено морфологическими особенностями и неоднородностью состава пленки магнетита.