Экспериментальная оценка параметров распределений для шероховатости поверхности в каналах наноразмеров

Для расчета молекулярных течений в наносистемах создана статистическая модель шероховатости поверхности, основанная на представлении ее неровностей в виде набора плоских микроплощадок, соединяющихся краями между собой и имеющих нормали, отличные от нормали к среднему уровню. В качестве примера с помощью атомно-силового микроскопа Solver PRO-M выполнены измерения двух параметров микроскопической шероховатости жесткого диска винчестера: тангенса угла наклона вдоль линии скана и высоты неровности. По большой экспериментальной выборке из измеренных значений получены плотность функций распределения для угла наклона и условные распределения с параметрами, зависящими от этого угла, для высоты неровности, а также для площади треугольника, образуемого высотой вместе со сторонами угла. Это последнее условное экспоненциальное распределение оказалось более удобным для расчетов случайных величин. Полученные результаты могут использоваться для моделирования граничных условий при расчете молекулярных течений статистическими методами Монте-Карло, а также для оценки свойств новых материалов защитных покрытий поверхностей в наносистемах, содержащих течения газа.