Математическое моделирование
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Матем. моделирование:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Математическое моделирование, 1991, том 3, номер 1, страницы 48–58 (Mi mm2177)  
Математические модели явлений и процессов

О законе приближенного изменения “птичьего клюва” в процессе окисления кремния при наличии маски

Б. И. Фридлендер
PDF полного текста (910 kB)
Аннотация: В статье рассматривается двумерная задача окисления кремния кислородом. В безразмерных параметрах показана автомодельность задачи. Найдены скорость движения остроконечной критической точки “птичьего клюва” и приближенно определены размеры “клюва”. Приведены результаты расчетов окисления кремния сухим и влажным кислородом.
Поступила в редакцию: 25.05.1990
Образец цитирования: Б. И. Фридлендер, “О законе приближенного изменения “птичьего клюва” в процессе окисления кремния при наличии маски”, Матем. моделирование, 3:1 (1991), 48–58
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{Fri91}
\by Б.~И.~Фридлендер
\paper О~законе приближенного изменения ``птичьего клюва'' в~процессе окисления кремния при наличии маски
\jour Матем. моделирование
\yr 1991
\vol 3
\issue 1
\pages 48--58
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/mm2177}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/mm2177
  • https://www.mathnet.ru/rus/mm/v3/i1/p48
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Математическое моделирование
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025