Оптика и спектроскопия
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Оптика и спектроскопия:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Оптика и спектроскопия, 2024, том 132, выпуск 1, страницы 42–46
DOI: https://doi.org/10.61011/OS.2024.01.57547.13-24 (Mi os1134) 		 
Конференция ''Сверхбыстрые оптические явления (UltrafastLight-2023)'' 2-4 октября 2023 г., Физический институт имени П.Н. Лебедева РАН
Лазерная физика и лазерная оптика

Импульсный лазерный отжиг кремния, имплантированного ионами марганца

М. С. Ковалевa, И. М. Подлесныхa, Р. И. Баталовb, Н. Г. Сцепуроa, С. И. Кудряшовa

a Физический институт им. П. Н. Лебедева Российской академии наук, 119991 Москва, Россия
b Казанский физико-технический институт им. Е. К. Завойского, КазНЦ РАН, 420029 Казань, Россия
PDF полного текста (444 kB)
DOI: https://doi.org/10.61011/OS.2024.01.57547.13-24
Аннотация: Описана методика импульсного лазерного отжига кремния, предварительно сверхлегированного атомами марганца с помощью ионной имплантации. Подобраны оптимальные режимы лазерного отжига, которые обеспечивали наилучшую кристалличность образцов. Проанализировано влияние импульсного лазерного отжига на некоторые оптические и структурные свойства сверхлегированных кремниевых пластин на основе спектров комбинационного рассеяния, энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии, спектров инфракрасного поглощения в диапазоне волновых чисел от 700 до 1300 cm$^{-1}$.
Ключевые слова: импульсный лазерный отжиг, сверхлегирование, ионная имплантация, кремний, марганец.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации 075-15-2023-612
Эксперименты по ионной имплантации кремния ионами марганца были выполнены в рамках Госзадания КФТИ. Эксперименты по импульсному лазерному отжигу и последующей характеризации кремния были выполнены в рамках соглашения № 075-15-2023-612 с Министерством науки и высшего образования Российской Федерации.
Поступила в редакцию: 11.12.2023
Исправленный вариант: 09.01.2024
Принята в печать: 16.01.2024
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: М. С. Ковалев, И. М. Подлесных, Р. И. Баталов, Н. Г. Сцепуро, С. И. Кудряшов, “Импульсный лазерный отжиг кремния, имплантированного ионами марганца”, Оптика и спектроскопия, 132:1 (2024), 42–46
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KovPodBat24}
\by М.~С.~Ковалев, И.~М.~Подлесных, Р.~И.~Баталов, Н.~Г.~Сцепуро, С.~И.~Кудряшов
\paper Импульсный лазерный отжиг кремния, имплантированного ионами марганца
\jour Оптика и спектроскопия
\yr 2024
\vol 132
\issue 1
\pages 42--46
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/os1134}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=67211225}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/os1134
  • https://www.mathnet.ru/rus/os/v132/i1/p42
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Оптика и спектроскопия Оптика и спектроскопия
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025