Анализ оптических свойств массива полусферических наночастиц Ag на поверхности SiO$_2$/c-Si методом спектральной эллипсометрии

Рассмотрен разупорядоченный массив самоорганизующихся полусферических наночастиц Ag на поверхности SiO$_2$/Si. Структуры получены с помощью простого, воспроизводимого и недорогого метода восстановления Ag из раствора на поверхности монокристаллического кремния c последующей термической обработкой в атмосфере O$_2$ при 350$^\circ$C. Проведен анализ оптических свойств, полученных неразрушающим методом спектральной эллипсометрии. Предложена многослойная модель с параболическим градиентом Ag/воздух для приближения эффективной среды Бруггемана, которая позволила с высокой точностью ($\pm$ 5 nm) определить толщину слоя наночастиц Ag. Положения “объемного” и локализованного плазмонных резонансов определены с помощью модели Друде и осцилляторов Лоренца.