|
Оптика и спектроскопия, 2024, том 132, выпуск 9, страницы 911–917 DOI: https://doi.org/10.61011/OS.2024.09.59189.6977-24
(Mi os1252)
|
|
|
|
Лазерная физика и лазерная оптика
Параметры стимулированного излучения в Al$_{0.65}$Ga$_{0.35}$N : Si/AlN/Al$_2$O$_3$-структуре с планарной геометрией
П. А. Боханa, К. С. Журавлевa, Д. Э. Закревскийba, Т. В. Малинa, Н. В. Фатеевac a Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, Россия
b Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, Россия
c Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
DOI:
https://doi.org/10.61011/OS.2024.09.59189.6977-24
Аннотация:
Экспериментально изучены параметры стимулированного излучения в Al$_{0.65}$Ga$_{0.35}$N : Si/AlN/Al$_2$O$_3$-гетероструктуре в широком спектральном диапазон 370–670 nm при комнатной температуре, образующейся при поперечной импульсной накачке излучением с длиной волны 266 nm, длительностью импульсов 8 ns и частотой повторения 10 Hz. Легированная кремнием до концентрации $n_{\mathrm{Si}}\approx$1.5 $\cdot$ 10$^{20}$ cm$^{-3}$ Al$_{0.65}$Ga$_{0.35}$N-пленка толщиной 1.1 $\mu$m представляет собой асимметричный планарный волновод, обладающий усилительными свойствами с коэффициентом усиления $\sim$10 cm$^{-1}$. Квантовая эффективность стимулированного излучения составила $\eta\approx$18% при величине мощности оптической накачки $P_p$ = 100 kW/cm$^2$ и выводом стимулированного излучения через подложку. Спектр излучения состоит из совокупности эквидистантных пиков, каждый из них состоит из суммы двух плоских TE- и TM-волн. Эти волны распространяются зигзагообразно из-за внутреннего отражения на границах структуры. Получена узкая угловая расходимость 5.3$^\circ$ стимулированного излучения в перпендикулярном направлении к плоскости структуры, a в параллельном направлении расходимость составляет 20$^\circ$.
Ключевые слова:
сильнолегированные структуры Al$_x$Ga$_{1-x}$N, планарный волновод, оптическое усиление, донорно-акцепторная рекомбинация.
Поступила в редакцию: 09.08.2024 Исправленный вариант: 30.09.2024 Принята в печать: 30.09.2024
Образец цитирования:
П. А. Бохан, К. С. Журавлев, Д. Э. Закревский, Т. В. Малин, Н. В. Фатеев, “Параметры стимулированного излучения в Al$_{0.65}$Ga$_{0.35}$N : Si/AlN/Al$_2$O$_3$-структуре с планарной геометрией”, Оптика и спектроскопия, 132:9 (2024), 911–917
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/os1252 https://www.mathnet.ru/rus/os/v132/i9/p911
|
|