Оптика и спектроскопия
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Оптика и спектроскопия:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Оптика и спектроскопия, 2023, том 131, выпуск 1, страницы 25–29
DOI: https://doi.org/10.21883/OS.2023.01.54533.4086-22 (Mi os1264) 		 
Спектроскопия конденсированного состояния

Диагностика технологии оксидов титана и гафния методами люминесценции

С. В. Булярский, Г. Г. Гусаров, А. А. Дудин, Д. А. Коива, К. И. Литвинова

Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН, 119991 Москва, Россия
PDF полного текста (378 kB)
DOI: https://doi.org/10.21883/OS.2023.01.54533.4086-22
Аннотация: Показана роль вакансий кислорода в формировании полос люминесценции оксидов титана и гафния, а также продемонстрирована связь интенсивности полос люминесценции с условиями синтеза пленок этих материалов. Сделан вывод, что фотолюминесценция является очень чувствительным методом диагностики состава оксидов. Полосы люминесценции 2.45 eV в оксиде титана и 2.91 eV в оксиде гафния позволяют анализировать изменение состава пленок при различных технологических условиях их получения.
Ключевые слова: вакансии кислорода, оксид титана, оксид гафния, фотолюминесценция.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации 0004-2022-0004
Работа выполнена при поддержке Минобрнауки России, проект № 0004-2022-0004.
Поступила в редакцию: 05.09.2022
Исправленный вариант: 18.11.2022
Принята в печать: 14.12.2022
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: С. В. Булярский, Г. Г. Гусаров, А. А. Дудин, Д. А. Коива, К. И. Литвинова, “Диагностика технологии оксидов титана и гафния методами люминесценции”, Оптика и спектроскопия, 131:1 (2023), 25–29
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{BulGusDud23}
\by С.~В.~Булярский, Г.~Г.~Гусаров, А.~А.~Дудин, Д.~А.~Коива, К.~И.~Литвинова
\paper Диагностика технологии оксидов титана и гафния методами люминесценции
\jour Оптика и спектроскопия
\yr 2023
\vol 131
\issue 1
\pages 25--29
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/os1264}
\crossref{https://doi.org/10.21883/OS.2023.01.54533.4086-22}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=50321157}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/os1264
  • https://www.mathnet.ru/rus/os/v131/i1/p25
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Оптика и спектроскопия Оптика и спектроскопия
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025