Оптика и спектроскопия
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Оптика и спектроскопия:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Оптика и спектроскопия, 2021, том 129, выпуск 4, страницы 506–511
DOI: https://doi.org/10.21883/OS.2021.04.50782.287-20 (Mi os161) 		 
Физическая оптика

Оптические характеристики неоднородного слоя титаната бария, легированного европием

Н. И. Стаськовa, А. Б. Сотскийa, Л. И. Сотскаяb, Н. В. Гапоненкоc, Е. И. Лашковскаяc, А. Н. Петлицкийd, А. А. Козловe

a Могилевский государственный университет им. А. А. Кулешова
b Белорусско-Российский университет, Могилев, Республика Беларусь
c Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
d Белмикросистемы НТЦ Филиал ОАО Интеграл, Минск, Республика Беларусь
e Пермский государственный национальный исследовательский университет
PDF полного текста (1082 kB)
DOI: https://doi.org/10.21883/OS.2021.04.50782.287-20
Аннотация: Разработан алгоритм решения обратной задачи многоугловой спектрофотометрии неоднородной поглощающей пленки, основанный на полиномиальных представлениях плотности материала пленки и его комплексного коэффициента рефракции. Алгоритм применен для определения спектральных и пространственных распределений показателей преломления и поглощения пленки титаната бария, легированного европием. Пленка нанесена по золь-гель-технологии на слой диоксида кремния, находящийся на кремниевой подложке. Корректность полученного решения проверена сравнением рассчитанных и измеренных спектров эллипсометрических углов и спектров отражательной способности структуры при нормальном падении света. Легирование европием титаната бария приводит к уменьшению длины волны, соответствующей краю полосы собственного поглощения, увеличению ширины запрещенной зоны материала в приповерхностном слое пленки и снижению концентрации европия вглубь пленки.
Ключевые слова: многоугловая спектрофотометрия, эллипсометрия, неоднородный поглощающий слой, оптические характеристики титаната бария, легированного европием.
Финансовая поддержка Номер гранта
Национальная академия наук Беларуси 3.5.10
1.2.03
Работа выполнена в рамках ГПНИ РБ “Фотоника, опто- и микроэлектроника 3.5.10. Исследование методами спектроэллипсометрии и спектрофотометрии фазового состава, геометрических и оптических дисперсионных характеристик многослойных нанометровых гетероструктур на основе диэлектриков, полупроводников и металлов” и “Фотоника, опто- и микроэлектроника 1.2.03. Разработка теории методов оптического контроля наноразмерных тонкопленочных структур”.
Поступила в редакцию: 26.11.2020
Исправленный вариант: 24.12.2020
Принята в печать: 26.12.2020
Англоязычная версия:
Optics and Spectroscopy, 2021, Volume 129, Issue 5, Pages 586–591
DOI: https://doi.org/10.1134/S0030400X21040263
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Н. И. Стаськов, А. Б. Сотский, Л. И. Сотская, Н. В. Гапоненко, Е. И. Лашковская, А. Н. Петлицкий, А. А. Козлов, “Оптические характеристики неоднородного слоя титаната бария, легированного европием”, Оптика и спектроскопия, 129:4 (2021), 506–511; Optics and Spectroscopy, 129:5 (2021), 586–591
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{StaSotSot21}
\by Н.~И.~Стаськов, А.~Б.~Сотский, Л.~И.~Сотская, Н.~В.~Гапоненко, Е.~И.~Лашковская, А.~Н.~Петлицкий, А.~А.~Козлов
\paper Оптические характеристики неоднородного слоя титаната бария, легированного европием
\jour Оптика и спектроскопия
\yr 2021
\vol 129
\issue 4
\pages 506--511
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/os161}
\crossref{https://doi.org/10.21883/OS.2021.04.50782.287-20}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=46486571}
\transl
\jour Optics and Spectroscopy
\yr 2021
\vol 129
\issue 5
\pages 586--591
\crossref{https://doi.org/10.1134/S0030400X21040263}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/os161
  • https://www.mathnet.ru/rus/os/v129/i4/p506
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Оптика и спектроскопия Оптика и спектроскопия
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025