О возможности применения фторидных неодим-активированных кристаллов в качестве светоуправляемого затвора для излучения ArF-лазера (193 nm)

Сообщено об оптических свойствах кристаллов фторидов KY$_{3}$F$_{10}$:Nd$^{3+}$, Na$_{3}$Y$_{6}$F$_{22}$:Nd$^{3+}$, SrF$_{2}$:Nd$^{3+}$ и CaF$_{2}$:Nd$^{3+}$ в УФ и ВУФ областях спектра. Спектры поглощения из основного $(^{4}I_{9/2})$ и из возбужденного ($^{4}F_{3/2}$) состояний зарегистрированы в диапазоне длин волн от 190 до 240 nm. Спектры поглощения из возбужденного состояния показывают существенное приращение коэффициентов поглощения исследованных образцов в области длин волн 193 nm при накачке состояния $^{4}F_{3/2}$ ионов Nd$^{3+}$ ИК излучением. Полученные результаты демонстрируют возможность применения этих кристаллов в качестве оптических затворов для УФ и ВУФ диапазона, управляемых внешним лазерным ИК излучением, например для излучения эксимерного ArF-лазера с длиной волны 193 nm, которое начало применяться в фотолитографии.