Эмиссионные спектры молекулярных газов CHF$_3$, CCl$_2$F$_2$, SF$_6$ в диапазоне 3–20 nm при импульсном лазерном возбуждении с использованием различных газовых струй в качестве мишеней

Исследованы эмиссионные спектры молекулярных газов CHF$_3$, CCl$_2$F$_2$, SF$_6$ при возбуждении импульсным лазерным излучением. Использовался лазер Nd : YAG, $\lambda$ =1064 nm, $\tau$ = 5 ns, $E_{\text{pulse}}$ = 0.8 J. Исследован спектральный диапазон 3–20 nm. Для формирования атомарно-кластерного пучка использовались капилляр диаметром $d$ = 500 $\mu$m и сверхзвуковые конические сопла с $d_{\mathrm{cr}}$ = 145 $\mu$m, 2$\alpha$ = 12$^\circ$, $L$ = 5 mm и $d_{\mathrm{cr}}$ = 450 $\mu$m, 2$\alpha$ = 11$^\circ$, $L$ = 5 mm. Получены эмиссионные спектры для различных газовых мишеней, проведена расшифровка полученных спектров и определены ионы, излучающие в данном спектральном диапазоне. Проведено сравнение интенсивностей линий при использовании различных систем формирования мишеней.