|
Спектроскопия конденсированного состояния
Катодолюминесценция собственных дефектов в пленках La : HfZrO
Е. В. Дементьеваa, М. В. Заморянскаяa, В. А. Гриценкоbc a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
b Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия
c Новосибирский государственный технический университет,
630073 Новосибирск, Россия
Аннотация:
Нанометровые пленки твердого раствора оксида гафния и циркония, легированные лантаном (La:(HfZr)O$_2$), представляют большой интерес для разработки универсальной памяти, сочетающей неограниченное число циклов перепрограммирования оперативной памяти и энергонезависимость флеш-памяти. Настоящая работа посвящена исследованиям катодолюминесцентных свойств тонких пленок La : HfZrO с различным содержанием лантана. Показано, что в спектрах катодолюминесценции доминируют две полосы излучения с максимумами интенсивности 2.7 и 2.2 eV. Голубая полоса с энергией 2.7 eV обусловлена вакансией кислорода в La : HfZrO. Исследование влияния примеси лантана и отжига образцов в аргоне позволяет предположить, что желтая полоса с максимумом излучения 2.2 eV связана с дивакансией кислорода.
Ключевые слова:
люминесценция, оксид гафния, оксид циркония, вакансия кислорода.
Поступила в редакцию: 24.10.2022 Исправленный вариант: 24.10.2022 Принята в печать: 01.11.2022
Образец цитирования:
Е. В. Дементьева, М. В. Заморянская, В. А. Гриценко, “Катодолюминесценция собственных дефектов в пленках La : HfZrO”, Оптика и спектроскопия, 130:12 (2022), 1836–1839
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/os1893 https://www.mathnet.ru/rus/os/v130/i12/p1836
|
|