Оптические свойства нестехиометрического оксида кремния SiO$_{x}$ ($x<$ 2)

Исследованы оптические свойства аморфных нестехиометрических пленок оксида кремния SiO$_{x}$ переменного состава ($x$ = 0.62–1.92) в спектральном диапазоне 1.12–4.96 eV, полученных плазмостимулированным химическим осаждением из газовой фазы. Методом спектроэллипсометрии показано, что в зависимости от содержания кислорода в газовой фазе при синтезе образующиеся пленки SiO$_{x}$ по характеру дисперсии показателя преломления могут быть условно отнесены к кремнийподобным пленкам, диэлектрикам и пленкам с промежуточным типом проводимости. Предложена модель структуры SiO$_{x}$, расчет которой из первых принципов (ab initio) описывает экспериментальные оптические спектры. Из первых принципов рассчитаны зависимости величины показателя преломления и ширины запрещенной зоны SiO$_{x}$ от параметра стехиометрии $x$.