|
|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru |
Цитирования |
|
2018 |
| 1. |
А. В. Фадеев, А. В. Мяконьких, К. В. Руденко, “Аналитическая модель атомно-слоевого осаждения пленок на 3D-структурах с высоким аспектным отношением”, ЖТФ, 88:2 (2018), 243–250   ; A. V. Fadeev, A. V. Myakon'kikh, K. V. Rudenko, “Analytical model of atomic layer deposition of films on 3D structures with high aspect ratios”, Tech. Phys., 63:2 (2018), 235–242 |
7
|
|
