Физика и техника полупроводников
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика и техника полупроводников:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика и техника полупроводников, 1984, том 18, выпуск 5, страницы 954–956 (Mi phts1774)  
Краткие сообщения

Влияние импульсного лазерного облучения на свойства имплантированных слоев карбида кремния

Э. Е. Виолин, О. Н. Воронько, Ф. Нойберт, Е. Н. Потапов

Ленинградский электротехнический институт им.Ульянова (Ленина)
PDF полного текста (447 kB)
Поступила в редакцию: 15.09.1983
Принята в печать: 28.12.1983
Тип публикации: Статья
УДК: 621.315.592
Образец цитирования: Э. Е. Виолин, О. Н. Воронько, Ф. Нойберт, Е. Н. Потапов, “Влияние импульсного лазерного облучения на свойства имплантированных слоев карбида кремния”, Физика и техника полупроводников, 18:5 (1984), 954–956
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{VioVorNoi84}
\by Э.~Е.~Виолин, О.~Н.~Воронько, Ф.~Нойберт, Е.~Н.~Потапов
\paper Влияние импульсного лазерного облучения на свойства имплантированных
слоев карбида кремния
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 1984
\vol 18
\issue 5
\pages 954--956
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts1774}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts1774
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts/v18/i5/p954
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика и техника полупроводников Физика и техника полупроводников
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:78
    PDF полного текста:37
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2026