|
|
Физика и техника полупроводников, 1984, том 18, выпуск 7, страницы 1280–1283
(Mi phts1851)
|
|
|
|
Краткие сообщения
К вопросу о кинетике отжига низкотемпературных кислородных доноров
в кремнии
Ю. М. Бабицкий, П. М. Гринштейн, М. А. Ильин, В. П. Кузнецов
Образец цитирования:
Ю. М. Бабицкий, П. М. Гринштейн, М. А. Ильин, В. П. Кузнецов, “К вопросу о кинетике отжига низкотемпературных кислородных доноров
в кремнии”, Физика и техника полупроводников, 18:7 (1984), 1280–1283
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts1851 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v18/i7/p1280
|
| Статистика просмотров: |
| Страница аннотации: | 71 | | PDF полного текста: | 42 |
|