|
|
Физика и техника полупроводников, 1983, том 17, выпуск 2, страницы 276–280
(Mi phts2150)
|
|
|
|
Распад твердого раствора золота в бездислокационном кремнии
Н. Т. Баграев, Л. С. Власенко, Ю. А. Карпов, В. М. Туровский
Аннотация:
С помощью оптической поляризации ядер решетки исследованы
процессы распада твердого раствора золота в бездислокационном кремнии.
Определены концентрации атомов золота, присутствующих в кристалле в виде
различных составляющих твердого раствора. Показано, что наиболее
термостабильными твердыми растворами являются твердые растворы на основе
донорно-акцепторных пар фосфор + золото в узле решетки, которые образуются
в области малых концентраций золота в монокристаллах кремния. Определены
концентрации различных компонент активной составляющей твердого раствора
золота в кремнии: донорных атомов золота (твердый раствор
внедрения) и акцепторных атомов
золота (твердый раствор замещения).
Образец цитирования:
Н. Т. Баграев, Л. С. Власенко, Ю. А. Карпов, В. М. Туровский, “Распад твердого раствора золота в бездислокационном кремнии”, Физика и техника полупроводников, 17:2 (1983), 276–280
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts2150 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v17/i2/p276
|
|