|
|
Физика и техника полупроводников, 1988, том 22, выпуск 6, страницы 1137–1139
(Mi phts2925)
|
|
|
|
Краткие сообщения
Механизм отжига разупорядоченных областей в кремнии
А. В. Васильев, В. В. Михнович, С. А. Смагулова
Образец цитирования:
А. В. Васильев, В. В. Михнович, С. А. Смагулова, “Механизм отжига разупорядоченных областей в кремнии”, Физика и техника полупроводников, 22:6 (1988), 1137–1139
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts2925 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v22/i6/p1137
|
| Статистика просмотров: |
| Страница аннотации: | 73 | | PDF полного текста: | 34 |
|