Эффект псевдолегирования аморфного кремния

Получены пленки гидрированного аморфного кремния ($a$-Si : Н) методом ВЧ разложения силаносодержащей газовой смеси в диодной и триодной системах. Показано, что варьирование температуры и скорости осаждения пленок, скорости прокачки газовой смеси, потенциала смещения на сетке (в триодной системе) приводит к изменениям элементов структурной сетки $a$-Si : Н и соответственно функции плотности состояний и положения уровня Ферми в щели подвижности. Таким образом, без специального легирования удается смещать уровень Ферми в пределах ${|\varepsilon_{c}-\varepsilon_{F}| =0.9\div0.3}$ эВ.