|
|
Физика и техника полупроводников, 1990, том 24, выпуск 2, страницы 295–299
(Mi phts3718)
|
|
|
|
Модификация центра $E3$ в облученном $n$-GaAs
Т. И. Кольченко, В. М. Ломако
Аннотация:
На основе анализа изменений спектра
НЕСГУ облученного $n$-GaAs (${n_{0}=3\cdot 10^{14}{-}3\cdot
10^{17}}$ см$^{-3}$) в зависимости от напряженности
электрического поля, а также данных по термическому
отжигу установлено, что пик $E3$ является составным.
Для его модификации $E3_{\alpha}$, являющейся основной в
материале с $n_{0}=3\cdot10^{14}{-}10^{16}$ см$^{-3}$,
характерны сильная зависимость скорости эмиссии электронов
($e_{n}$) от величины электрического поля
(при $E \gtrsim 10^{5}$ В/см$^{2}$) и высокая термическая
стабильность ($T_{\text{отж}}=220^{\circ}$С).
Модификация $E3_{\beta}$, преобладающая в низкоомном GaAs
($n \gtrsim 10^{17}$см$^{-3}$) в случае электронного
облучения, отличается сравнительно низкой термической
стабильностью ($T_{\text{отж}}=140^{\circ}$С) и
независимостью $e_{n}$ от напряженности электрического
поля. Определено, что энергия активации эмиссии электронов
для $E3_{\beta}$ составляет $\sim0.37$ эВ, а процесс
их захвата на центр является термически активируемым
с ${E_{\sigma}=0.24}$ эВ. Показано, что пик $E3_{p}$,
возможно, связан с эмиссией электронов из
$A^{n+1}$-состояния конфигурационно-бистабильного центра $EM1$ в GaAs. Установлено, что отжиг $E3_{\beta}$ описывается уравнением
кинетики химических реакций 1-го порядка с
$E_{\theta}=0.86$ эВ и $\lambda_{0}=3\cdot10^{7}$с$^{-1}$.
Относительно низкая скорость введения $E3_{\beta}$ в
случае $\gamma$-облучения связывается с низкой
термической стабильностью центра.
Образец цитирования:
Т. И. Кольченко, В. М. Ломако, “Модификация центра $E3$ в облученном $n$-GaAs”, Физика и техника полупроводников, 24:2 (1990), 295–299
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts3718 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v24/i2/p295
|
| Статистика просмотров: |
| Страница аннотации: | 84 | | PDF полного текста: | 44 |
|