|
|
Физика и техника полупроводников, 1990, том 24, выпуск 4, страницы 710–716
(Mi phts3808)
|
|
|
|
Фотолюминесценция аморфных пленок $a$-Si$_{1-x}$C$_{x}$ : H
В. А. Васильев, А. С. Волков, Е. Мусабеков, Е. И. Теруков, В. Е. Челноков, С. В. Чернышев, Ю. М. Шерняков
Аннотация:
Исследованы основные характеристики
стационарной фотолюминесценции (ФЛ), ее температурная
зависимость, а также кинетика затухания ФЛ пленок
$a$-Si$_{1-x}$C$_{x}$ : H различного состава, полученных разложением
смеси газов SiH$_{4}{-}$CH$_{4}{-}$Ar в ВЧ тлеющем разряде. Показано, что ФЛ состоит из одной почти симметричной
полосы, положение максимума которой и полуширина растут
с ростом $x$ от значений 1.4 и 0.30 эВ при $x=0$ до значений
2.3$-$2.9 и 0.8 эВ при $x\sim 1$. При этом резко ослабляется
температурное гашение интенсивности ФЛ, а кинетика ее
затухания на несколько порядков убыстряется, демонстрируя
переход от туннельной к экситоноподобной излучательной
рекомбинации. При возбуждении \glqqхвост$-$хвост» обнаружено крыло антистоксовского
излучения, относительная интенсивность которого увеличивается
по мере роста температуры и уменьшения энергии возбуждающих
квантов. Обсуждаются возможные причины сильной пространственной
корреляции неравновесных электронов и дырок в пленках,
обогащенных углеродом. На основании данных по антистоксовскому
излучению делается вывод о том, что причиной такой корреляции
является локализация носителей заряда на микронеоднородностях
аморфной структурной сетки. Делается предположение о том, что
эти неоднородности представляют собой нанокластеры графитовой фазы. Анализ концентрационных зависимостей параметров ФЛ приводит также
к заключению о том, что пленки $a$-Si$_{1-x}$C$_{x}$ : H,
выращенные указанным
выше методом, остаются однородными лишь при малом содержании
углерода ($x < 0.3\div 0.4$).
Образец цитирования:
В. А. Васильев, А. С. Волков, Е. Мусабеков, Е. И. Теруков, В. Е. Челноков, С. В. Чернышев, Ю. М. Шерняков, “Фотолюминесценция аморфных пленок $a$-Si$_{1-x}$C$_{x}$ : H”, Физика и техника полупроводников, 24:4 (1990), 710–716
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts3808 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v24/i4/p710
|
| Статистика просмотров: |
| Страница аннотации: | 86 | | PDF полного текста: | 51 |
|