Генерация и отжиг дефектов при совмещенном генерировании в кремнии $n$-типа. I. Геттерирующие микродефекты

Методом оптической поляризации ядерных моментов (ОПЯ) исследовались процессы совмещенного геттерирования в условиях варьирования параметрами окисления, термообработки и диффузии легирующих примесей в кремнии $n$-типа. Были определены размеры и концентрация геттерирующнх микродефектов, ответственных за возникновение неоднородно распределенных мелких и глубоких точечных центров. Показано, что, управляя потоками первичных дефектов, генерируемых поверхностью окисленного кремния, можно значительно изменять характеристики геттерирующнх микродефектов и тем самым существенно повысить эффективность процессов совмещенного геттерирования.