|
|
Физика и техника полупроводников, 1991, том 25, выпуск 1, страницы 110–113
(Mi phts4156)
|
|
|
|
Эффективность образования вакансионных и междоузельных комплексов
при облучении бездислокационного $n$-кремния
Л. А. Казакевич, П. Ф. Лугаков
Аннотация:
Изучены процессы накопления радиационных дефектов (РД)
вакансионного и междоузельного типов в бездислокационных
монокристаллах $n$-кремния (${\rho\approx 100}$ Ом$\,\cdot\,$см),
выращенных бестигельной зонной плавкой в атмосфере аргона.
На различных этапах облучения $\gamma$-квантами
$^{60}$Co ($T_{\text{обл}}\leqslant 50^{\circ}$C)
измерялись температурные ($80\div 400$ К) зависимости
коэффициента Холла и электропроводности. Установлено,
что в исследуемых кристаллах (по сравнению с контрольным
кремнием, полученным в вакууме и имеющим плотность дислокаций
$N_{\text{Д}}\approx 2\cdot 10^{4}$ см$^{-2}$
скорость введения $E$-центров ниже, $A$-центров выше, но суммарная
скорость введения РД вакансионного типа меньше. При увеличении
интегрального потока $\gamma$-квантов эффективность
образования $A$-центров уменьшается, комплексов междоузельный
углерод$-$узловой углерод возрастает, а $E$-центров
изменяется немонотонно. Объяснение полученных результатов
дано с учетом того, что при выращивании бездислокационных
кристаллов в их объеме формируются мелкие включения,
создающие анизотропные деформационные напряжения
и окруженные атмосферой фоновых примесей (кислород,
углерод). Под воздействием создаваемых включениями
полей к ним направленно мигрируют первичные РД,
где участвуют в комплексообразовании с примесями
или исчезают в результате непрямой аннигиляции.
Образец цитирования:
Л. А. Казакевич, П. Ф. Лугаков, “Эффективность образования вакансионных и междоузельных комплексов
при облучении бездислокационного $n$-кремния”, Физика и техника полупроводников, 25:1 (1991), 110–113
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts4156 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v25/i1/p110
|
| Статистика просмотров: |
| Страница аннотации: | 94 | | PDF полного текста: | 33 |
|