Физика и техника полупроводников
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Физика и техника полупроводников:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Физика и техника полупроводников, 1991, том 25, выпуск 1, страницы 110–113 (Mi phts4156)  

Эффективность образования вакансионных и междоузельных комплексов при облучении бездислокационного $n$-кремния

Л. А. Казакевич, П. Ф. Лугаков
Аннотация: Изучены процессы накопления радиационных дефектов (РД) вакансионного и междоузельного типов в бездислокационных монокристаллах $n$-кремния (${\rho\approx 100}$  Ом$\,\cdot\,$см), выращенных бестигельной зонной плавкой в атмосфере аргона. На различных этапах облучения $\gamma$-квантами $^{60}$Co ($T_{\text{обл}}\leqslant 50^{\circ}$C) измерялись температурные ($80\div 400$ К) зависимости коэффициента Холла и электропроводности. Установлено, что в исследуемых кристаллах (по сравнению с контрольным кремнием, полученным в вакууме и имеющим плотность дислокаций $N_{\text{Д}}\approx 2\cdot 10^{4}$ см$^{-2}$ скорость введения $E$-центров ниже, $A$-центров выше, но суммарная скорость введения РД вакансионного типа меньше. При увеличении интегрального потока $\gamma$-квантов эффективность образования $A$-центров уменьшается, комплексов междоузельный углерод$-$узловой углерод возрастает, а $E$-центров изменяется немонотонно. Объяснение полученных результатов дано с учетом того, что при выращивании бездислокационных кристаллов в их объеме формируются мелкие включения, создающие анизотропные деформационные напряжения и окруженные атмосферой фоновых примесей (кислород, углерод). Под воздействием создаваемых включениями полей к ним направленно мигрируют первичные РД, где участвуют в комплексообразовании с примесями или исчезают в результате непрямой аннигиляции.
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Л. А. Казакевич, П. Ф. Лугаков, “Эффективность образования вакансионных и междоузельных комплексов при облучении бездислокационного $n$-кремния”, Физика и техника полупроводников, 25:1 (1991), 110–113
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KazLug91}
\by Л.~А.~Казакевич, П.~Ф.~Лугаков
\paper Эффективность образования вакансионных и~междоузельных комплексов
при~облучении бездислокационного $n$-кремния
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 1991
\vol 25
\issue 1
\pages 110--113
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts4156}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts4156
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts/v25/i1/p110
  • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Физика и техника полупроводников Физика и техника полупроводников
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:94
    PDF полного текста:33
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2026