Влияние электронно-лучевой обработки на контакт титан$-$кремний

Исследовались структурные и фазовые превращения, изменение электрофизических параметров контакта титан$-$кремний при импульсном электронно-лучевом воздействии. Длительность импульса тока составляла ${\sim10}$ мкс. Показано, что при электронной обработке стимулируются диффузия атомов титана в кремниевую подложку, а также выход атомов кремния на поверхность образца с образованием силицида и дисилицида титана. Образование новых фаз влияет на изменение электрофизических параметров контакта. Методом обратного резерфордовского рассеяния исследуется граница раздела титан$-$кремний после электронной обработки контакта.