Роль водорода в формировании и стабильности границы раздела кристаллический кремний$-$аморфный гидрированный кремний

Приведены экспериментальные результаты исследований влияния условий синтеза на характеристики гетероструктур кристаллический кремний$-$аморфный гидрированный кремний: плотность состояний на границе раздела, концентрацию подвижного и связанного заряда и др. Обнаружены корреляции между электрическими свойствами, концентрацией дефектов и формами вхождения водорода. Показано, что освещение структур светом с энергией квантов ${h\nu\gtrsim2}$ эВ наряду с генерацией метастабильных состояний может приводить к залечиванию дефектов.
Предложена модель, в которой формирование границы раздела структур кристаллический кремний$-$ аморфный гидрированный кремний происходит с участием трехцентровых комплексов, способных при освещении трансформироваться в устойчивые гидридные связи в результате безотрывной миграции водорода.