|
|
Физика и техника полупроводников, 1991, том 25, выпуск 3, страницы 556–558
(Mi phts4248)
|
|
|
|
Краткие сообщения
Аномальная зависимость коэффициента отражения Si от дозы имплантации
ионов Ar$^{+}$ при ${T>330}$ K
П. В. Жуковский, С. Б. Канторов, К. Кищак, Д. Мончка, В. Ф. Стельмах
Образец цитирования:
П. В. Жуковский, С. Б. Канторов, К. Кищак, Д. Мончка, В. Ф. Стельмах, “Аномальная зависимость коэффициента отражения Si от дозы имплантации
ионов Ar$^{+}$ при ${T>330}$ K”, Физика и техника полупроводников, 25:3 (1991), 556–558
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts4248 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v25/i3/p556
|
| Статистика просмотров: |
| Страница аннотации: | 76 | | PDF полного текста: | 32 |
|