Расчет доз аморфизации кремния при облучении легкими ионами средних энергий

На основе ранее предложенной диффузионно-коагуляционной модели дефектообразования при ионном облучении кремния путем численного решения соответствующих кинетических уравнений рассчитаны дозы аморфизации $(\Phi_{\mathrm{am}}$) для ионов средних энергий с массой $M_{1}\le$ 31 а.е.м. Предполагается, что аморфизация на данной глубине происходит при дозе, при которой достигается некоторая пороговая величина суммарной концентрации вакансий и дивакансий $(C_{\mathrm{am}})$. Варьируемыми параметрами при расчетах являлись: энергия ионов, плотность ионного тока, температура, а также пороговая энергия смещения атома $(E_{d})$ и $C_{\mathrm{am}}$. Определены границы примененимости диффузионно-коагуляционной модели. Сравнение полученных результатов расчетов, проведенных в этих границах, с опубликованными экспериментальными данными показало (с учетом вариации экспериментальных данных и определенной свободы выбора параметров $E_{d}$ и $C_{\mathrm{am}}$) удовлетворительное соответствие расчетных и экспериментальных значений $\Phi_{\mathrm{am}}$.