Физика и техника полупроводников
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Физика и техника полупроводников:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Физика и техника полупроводников, 2019, том 53, выпуск 1, страницы 70–76
DOI: https://doi.org/10.21883/FTP.2019.01.46990.8889
(Mi phts5614)
 

Микро- и нанокристаллические, пористые, композитные полупроводники

Влияние буферного слоя por-Si на оптические свойства эпитаксиальных гетероструктур In$_{x}$Ga$_{1-x}$N/Si(111) с наноколончатой морфологией пленки

П. В. Серединa, Д. Л. Голощаповa, Д. С. Золотухинa, А. С. Леньшинa, А. Н. Лукинa, А. М. Мизеровb, Е. В. Никитинаb, И. Н. Арсентьевc, Harald Leisted, Monika Rinked

a Воронежский государственный университет
b Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет имени Ж. И. Алфёрова Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
c Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
d Karlsruhe Nano Micro Facility, Eggenstein-Leopoldshafen, Germany
Аннотация: С использованием метода молекулярно-пучковой эпитаксии с плазменной активацией азота на подложке монокристаллического кремния $c$-Si(111) и подложке с нанопористым буферным подслоем (por-Si) нами были выращены интегрированные гетероструктуры с наноколончатой морфологией пленки In$_{x}$Ga$_{1-x}$N. С привлечением комплекса спектроскопических методов анализа было показано, что рост наноколонок In$_{x}$Ga$_{1-x}$N на нанопористом буферном слое имеет ряд преимуществ по сравнению с ростом на $c$-Si. Данные pамановской и УФ-спектроскопии подтверждают рост наноколончатой структуры, а также находятся в согласии с данными рентгеновской дифракции из нашей предыдущей работы о том, что слой In$_{x}$Ga$_{1-x}$N находится в напряженном, нерелаксированном состоянии. Рост наноколонок In$_{x}$Ga$_{1-x}$N на пористом слое Si положительно отражается на оптических свойствах гетероструктур. При неизменной полуширине эмиссионной линии в спектре ФЛ интенсивность квантового выхода от образца гетероструктуры, выращенной на пористом буферном слое Si, выше на величину $\sim$25%, чем интенсивность от пленки, выращенной на кристаллическом кремнии.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации МД-188.2017.2
16.9789.2017/БЧ
11.4718.2017/8.9
Работа выполнена при поддержке гранта президента РФ МД-188.2017.2. Ростовые эксперименты проводились в рамках выполнения государственного задания Mинистерства образования и науки Российской Федерации № 16.9789.2017/БЧ. Работа в части исследований управления морфологией и составом монолитной и пористой подложек выполнена при финансовой поддержке ФТИ им. А.Ф. Иоффе. В части диагностики интегрированных структур работа поддержана грантом № 11.4718.2017/8.9 Министерства образования и науки России в рамках государственного задания вузам в сфере научной деятельности на 2017–2019 гг.
Поступила в редакцию: 12.04.2018
Исправленный вариант: 21.05.2018
Англоязычная версия:
Semiconductors, 2019, Volume 53, Issue 1, Pages 65–71
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063782619010172
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: П. В. Середин, Д. Л. Голощапов, Д. С. Золотухин, А. С. Леньшин, А. Н. Лукин, А. М. Мизеров, Е. В. Никитина, И. Н. Арсентьев, Harald Leiste, Monika Rinke, “Влияние буферного слоя por-Si на оптические свойства эпитаксиальных гетероструктур In$_{x}$Ga$_{1-x}$N/Si(111) с наноколончатой морфологией пленки”, Физика и техника полупроводников, 53:1 (2019), 70–76; Semiconductors, 53:1 (2019), 65–71
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{SerGolZol19}
\by П.~В.~Середин, Д.~Л.~Голощапов, Д.~С.~Золотухин, А.~С.~Леньшин, А.~Н.~Лукин, А.~М.~Мизеров, Е.~В.~Никитина, И.~Н.~Арсентьев, Harald~Leiste, Monika~Rinke
\paper Влияние буферного слоя \emph{por}-Si на оптические свойства эпитаксиальных гетероструктур In$_{x}$Ga$_{1-x}$N/Si(111) с наноколончатой морфологией пленки
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 2019
\vol 53
\issue 1
\pages 70--76
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts5614}
\crossref{https://doi.org/10.21883/FTP.2019.01.46990.8889}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=37476609}
\transl
\jour Semiconductors
\yr 2019
\vol 53
\issue 1
\pages 65--71
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063782619010172}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts5614
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts/v53/i1/p70
  • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Физика и техника полупроводников Физика и техника полупроводников
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025