|
Эта публикация цитируется в 14 научных статьях (всего в 14 статьях)
Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур
Наноразмерные пленки Cu$_{2}$O: формирование методом ВЧ-магнетронного распыления, исследование структурных и оптических свойств
Д. А. Кудряшовa, А. С. Гудовскихab, А. В. Бабичевcde, А. В. Филимоновc, А. М. Можаровa, В. Ф. Агекянf, Е. В. Борисовf, А. Ю. Серовf, Н. Г. Философовf a Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина)
c ООО "Коннектор Оптикс", г. Санкт-Петербург
d Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
e Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
f Санкт-Петербургский государственный университет
Аннотация:
Методом магнетронного распыления сформированы наноразмерные слои оксида меди (I) на стеклянных и кремниевых подложках при комнатной температуре в бескислородной среде и проведены исследования их структурных и оптических свойств. Показано, что на кремниевой подложке происходит формирование оксида меди с меньшей разупорядоченностью, нежели на стекле, это подтверждается большей интенсивностью и меньшей полушириной рефлексов дифрактометрической кривой. Наибольшая интенсивность рефлексов дифрактометрической кривой наблюдается для пленок Cu$_{2}$O, выращенных на кремнии при мощности магнетрона 150 Вт. Спектральная зависимость коэффициентов поглощения и пропускания этих же пленок Cu$_{2}$O согласуется с известными зависимостями для объемных кристаллов. В рамановских спектрах пленок идентифицированы фононы, соответствующие кристаллической решетке кубических кристаллов Cu$_{2}$O.
Поступила в редакцию: 10.05.2016 Принята в печать: 18.05.2016
Образец цитирования:
Д. А. Кудряшов, А. С. Гудовских, А. В. Бабичев, А. В. Филимонов, А. М. Можаров, В. Ф. Агекян, Е. В. Борисов, А. Ю. Серов, Н. Г. Философов, “Наноразмерные пленки Cu$_{2}$O: формирование методом ВЧ-магнетронного распыления, исследование структурных и оптических свойств”, Физика и техника полупроводников, 51:1 (2017), 111–115; Semiconductors, 51:1 (2017), 110–114
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts6267 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v51/i1/p111
|
|