Физика и техника полупроводников
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Физика и техника полупроводников:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Физика и техника полупроводников, 2023, том 57, выпуск 2, страницы 79–88
DOI: https://doi.org/10.21883/FTP.2023.02.55326.4225
(Mi phts6837)
 

Неэлектронные свойства полупроводников (атомная структура, диффузия)

Молекулярно-лучевая эпитаксия твердого раствора GaP$_x$As$_{1-x}$: феноменологическое описание зависимости $x$ от условий роста на подложке GaAs(001)

М. А. Путято, Е. А. Емельянов, М. О. Петрушков, А. В. Васев, Б. Р. Семягин, В. В. Преображенский

Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия
Аннотация: С применением феноменологической модели описаны экспериментальные зависимости доли фосфора в твердом растворе GaP$_x$As$_{1-x}$ от условий его выращивания методом молекулярно-лучевой эпитаксии на подложках GaAs(001) из потоков молекул As$_2$ и P$_2$. Модель построена на основе устоявшихся представлений о процессе молекулярно-лучевой эпитаксии соединений A$^{\mathrm{III}}$B$^{\mathrm{V}}$. Отношение коэффициентов встраивания атомов мышьяка и фосфора рассматривалось как функция температуры подложки, плотности потоков молекул V группы и атомов Ga. Найдены эмпирические выражения, описывающие поведение отношения коэффициентов встраивания мышьяка и фосфора в зависимости от указанных параметров роста. Выражения позволяют оценивать величины потоков молекул V группы, обеспечивающие получение слоев GaP$_x$As$_{1-x}$ c требуемым $x$ при заданных значениях температуры подложки и плотности потока атомов Ga.
Ключевые слова: молекулярно-лучевая эпитаксия, A$^{\mathrm{III}}$B$^{\mathrm{V}}$, твердые растворы, GaP$_x$As$_{1-x}$, феноменологическая модель.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации 075-15-2020-797
Работа выполнена в рамках гранта № 075-15-2020-797 (13.1902.21.0024).
Поступила в редакцию: 14.10.2022
Исправленный вариант: 31.01.2023
Принята в печать: 23.02.2023
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: М. А. Путято, Е. А. Емельянов, М. О. Петрушков, А. В. Васев, Б. Р. Семягин, В. В. Преображенский, “Молекулярно-лучевая эпитаксия твердого раствора GaP$_x$As$_{1-x}$: феноменологическое описание зависимости $x$ от условий роста на подложке GaAs(001)”, Физика и техника полупроводников, 57:2 (2023), 79–88
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{PutEmePet23}
\by М.~А.~Путято, Е.~А.~Емельянов, М.~О.~Петрушков, А.~В.~Васев, Б.~Р.~Семягин, В.~В.~Преображенский
\paper Молекулярно-лучевая эпитаксия твердого раствора GaP$_x$As$_{1-x}$: феноменологическое описание зависимости $x$ от условий роста на подложке GaAs(001)
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 2023
\vol 57
\issue 2
\pages 79--88
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts6837}
\crossref{https://doi.org/10.21883/FTP.2023.02.55326.4225}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=50739377}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts6837
  • https://www.mathnet.ru/rus/phts/v57/i2/p79
  • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Физика и техника полупроводников Физика и техника полупроводников
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025