Изменение параметров МДП-структур с соединениями редкоземельных элементов в условиях повышенной влажности

Исследовались свойства МДП-структур с фторидами иттрия, неодима, самария на германии, фторидами неодима и самария на подложках $n$ и $p$ кремния, а также структуры Al-Y$_2$O$_3$-$n$Si, Al-Y$_2$O$_3$-$p$Si в условиях повышенной влажности окружающей среды. Дополнительно структуры подвергались действию электрического поля $\sim$0.5–4 МВ/см. Для МДП-структур с пленками фторида иттрия, неодима, самария на германии, а также фторида неодима и самария на подложках $n$ и $p$ кремния наблюдается явное увеличение максимальной удельной емкости с ростом относительной влажности среды. Установлено, что вхождение воды в структуру пленочных фторидов редкоземельных элементов, исследованных в данной работе, является сорбционным, и при исследованных температурах не вызывает необратимых изменений в пленке диэлектрика.