|
Физика полупроводниковых приборов
Определение механизмов протекания тока в структурах из двух слоев диэлектриков
С. В. Булярскийa, В. С. Беловab, Г. Г. Гусаровa, А. В. Лакалинa, К. И. Литвиноваa, А. П. Орловa a Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН, 119991 Москва, Россия
b Национальный исследовательский университет "МИЭТ", 124498 Москва, Зеленоград, Россия
Аннотация:
Диоды металл-диэлектрик 1-диэлектрик 2-металл являются перспективными для использования в устройствах в паре с антеннами – ректеннах. Для создания диодов с требуемыми для работы характеристиками необходимо понимать механизмы переноса тока в обоих диэлектриках и их контактах с металлами. Для решения этой задачи нужно разработать алгоритм разделения общей вольт-амперной характеристики на характеристики отдельных контактов, анализ которых также позволит исследовать проблемы свойств дефектов в диэлектриках, из которых состоит диод. В данной работе представлено решение перечисленных выше задач на примере диода Al-Al$_2$O$_3$-Ta$_2$O$_5$-Ni. Авторы показали, как можно разделить вольт-амперную характеристику на составляющие, вычислить потенциальные барьеры на границах металлов с контактирующими диэлектриками, определить концентрацию и энергетические характеристики дефектов структуры в диэлектриках.
Ключевые слова:
диоды металл-диэлектрик-металл, вольт-амперные характеристики, эффект Пула–Френкеля, токи термоэлектронной и термополевой эмиссии, токи, ограниченные пространственным зарядом.
Поступила в редакцию: 18.04.2022 Исправленный вариант: 10.03.2023 Принята в печать: 10.03.2023
Образец цитирования:
С. В. Булярский, В. С. Белов, Г. Г. Гусаров, А. В. Лакалин, К. И. Литвинова, А. П. Орлов, “Определение механизмов протекания тока в структурах из двух слоев диэлектриков”, Физика и техника полупроводников, 57:2 (2023), 122–129
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts6846 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v57/i2/p122
|
| Статистика просмотров: |
| Страница аннотации: | 75 | | PDF полного текста: | 37 |
|