Температурная зависимость дислокационной электролюминесценции в кремниевых светодиодах с кислородными преципитатами

Исследована электролюминесценция кремниевых светодиодов, сформированных с участием кислородных преципитатов, при температурах 40–300 K. Имплантация ионов кислорода и многостадийные отжиги использовались при изготовлении светодиодов. Во всем диапазоне температур спектры хорошо аппроксимируются одной лоренцевой и четырьмя гауссовыми кривыми. В спектрах присутствуют линии дислокационной люминесценции D1–D4 (кривой Лоренца описывается линия D1) и кислородных преципитатов (ОР). Положения максимумов линий D1, ОР и D2 с изменением температуры измерения совпадают с температурной зависимостью ширины запрещенной зоны кремния, уменьшенной на значения 356, 330 и 303 мэВ соответственно. На температурных зависимостях интенсивностей электролюминесценции линий D1, ОР и D2 наблюдаются участки возгорания и гашения, определены энергии активации этих процессов, и обсуждаются причины их появления.