|
XXVII Международный симпозиум " Нанофизика и наноэлектроника" , Н. Новгород, 13 - 16 марта 2023г.
Формирование наноостровков InAs на поверхности кремния и гетероструктур на их основе
И. В. Илькивab, В. В. Лендяшоваac, Б. Б. Бородинc, В. Г. Талалаевd, Т. М. Шугабаевa, Р. Р. Резникb, Г. Э. Цырлинabe a Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет имени Ж. И. Алфёрова
Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
b Санкт-Петербургский государственный университет, 199034 Санкт-Петербург, Россия
c Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
d Martin Luther University Halle-Wittenberg, 06108 Halle, Germany
e Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики, 197101 Санкт-Петербург, Россия
Аннотация:
Представлены экспериментальные результаты исследований по формированию InAs-островков на поверхности кремния методом молекулярно-пучковой эпитаксии. Установлено, что в зависимости от рельефа Si поверхности и наличия наноямок могут формироваться InAs-островки как с бимодальным, так и однородным распределением по размерам. С помощью двухстадийного заращивания кремнием показана возможность создания гетероструктур с внедренными в кремний InAs-квантовыми точками, демонстрирующих фотолюминесценцию в области 1.65 мкм.
Ключевые слова:
квантовые точки, молекулярно-пучковая эпитаксия, полупроводники, кремний, гетероструктуры.
Поступила в редакцию: 05.05.2023 Исправленный вариант: 29.06.2023 Принята в печать: 06.07.2023
Образец цитирования:
И. В. Илькив, В. В. Лендяшова, Б. Б. Бородин, В. Г. Талалаев, Т. М. Шугабаев, Р. Р. Резник, Г. Э. Цырлин, “Формирование наноостровков InAs на поверхности кремния и гетероструктур на их основе”, Физика и техника полупроводников, 57:5 (2023), 332–337
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts6878 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v57/i5/p332
|
|