|
XVII Межгосударственная конференция ''Термоэлектрики и их применения -- 2021" (ISCTA 2021 Санкт-Петербург, 13-16 сентября, 2021)
Блочные и монокристаллические пленки сплава висмут–сурьма 3–12 ат% с подслоем сурьмы
Д. Д. Ефимовa, В. А. Комаровa, Н. С. Каблуковаb, Е. В. Демидовa, М. В. Старицынc a Российский государственный педагогический университет им. А. И. Герцена, 191186 Санкт-Петербург, Россия
b Санкт-Петербургский государственный университет промышленных технологий и дизайна, 191186 Санкт-Петербург, Россия
c ГНЦ ФГУП "ЦНИИ конструкционных материалов "Прометей", 191015 Санкт-Петербург, Россия
Аннотация:
Проведены исследования влияния подслоя сурьмы (10 нм) на структуру и гальваномагнитные свойства тонких пленок твердого раствора висмут-сурьма (3–12 ат% Sb) толщиной до 1 мкм, полученных дискретным термическим испарением в вакууме и зонной перекристаллизацией под покрытием на слюдяных подложках. У пленок на подслое сурьмы обнаружено увеличение разориентации плоскости (111) блоков относительно плоскости пленки, а также уменьшение их размеров. Использование подслоя сурьмы при перекристаллизации пленок не изменяет кристаллографическую ориентацию и увеличивает адгезию пленки к подложке. Изменение гальваномагнитных коэффициентов в пленках на подслое обусловлено классическим размерным эффектом и увеличением деформации плоскостного растяжения.
Ключевые слова:
висмут, сурьма, тонкая пленка, подслой сурьмы, монокристаллическая пленка, атомно-силовая микроскопия, явления переноса.
Поступила в редакцию: 19.09.2021 Исправленный вариант: 24.09.2021 Принята в печать: 24.09.2021
Образец цитирования:
Д. Д. Ефимов, В. А. Комаров, Н. С. Каблукова, Е. В. Демидов, М. В. Старицын, “Блочные и монокристаллические пленки сплава висмут–сурьма 3–12 ат% с подслоем сурьмы”, Физика и техника полупроводников, 56:2 (2022), 156–160
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts6987 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v56/i2/p156
|
|